Fabricage van vacuümkamer uitgelegd

Een stapsgewijze introductie voor internationale kopers

1. Engineering & Voorbereiding

1.1 Ontwerppakket

- Geometrie: definieer interne lay-out, pompen-, meet- en viewportaansluitingen, positie van elektroden/doelen.

- Vacuüm specificatie: stel uiteindelijke druk, lekrate en testdruk in; kies hiermee overeenkomstig de legering, lasmethode en afdichttype.

- Documentatie: gedetailleerde tekeningen, algemene montage, lassvolgordeplan, volledige GD&T.

1.2 Materialen & verbruiksgoederen

- Legeringen: 304L/316L austenitisch roestvrij staal (laag koolstof, laag uitgassen); op aanvraag Al- of Ti-legeringen.

- Verbruiksgoederen: passende toevoegdraad, vacuümklasse afdichtingen, CF/KF bevestigingsmaterialen.

- Metrologie: helium massaspectrometer lekdetectieapparaat, oppervlakteruwheidsmeter, CMM.

2. Materiaalbewerking

2.1 Voorbehandeling

- Ontvetten: alkalisch of ultrasone bad om walsoliën te verwijderen.

- Zuren en passiveren: oxide/schaal verwijderen, Cr-oxidefilm herstellen.

- Bescherming: handschoenen of afplakfolie tijdens machinale bewerking.

2.2 Snijden en vormgeven

- Snijden: plasma, laser of waterstraal.

- Walsen: cilinders op plaatwalsen; rechthoekige behuizingen gebogen met een plooiinstallatie.

- Bewerken: afdichten van groeven, geglazeerde aansluitingen tot Ra ≤ 0,8 µm.

- Gaten maken: CNC-gezaagde ramen, pompopeningen; alle randen breken.

3. Inpassen en lassen

3.1 Tacklassen van de assemblage

- Positioneren met een minimum aan tacklassen; de volgorde wordt gekozen om krimp te compenseren.

3.2 Lassen

- Proces: GTAW (TIG) als standaard; elektronenstraallassen voor hoogwaardige verbindingen.

- Acceptatie: nul porositeit, volledige doorgang, gladde binnenste lasnaad; enkelzijdige lassen worden vaak aan de achterzijde afgeschermd voor een „dubbelzijdig“ profiel.

- Kritische naden volledig heliumdichtheidsgetest ter plaatse.

4. Operaties na het lassen

4.1 Spanningsverlaging

- Oven of lokale PWHT 450–650 °C; grote onderdelen mogen vibratiereductie gebruiken.

4.2 Definitieve reiniging

- Herbehandel laszones met zoutzuur; ultrasone spoeling → demiwater → drogen met heet lucht; gecertificeerd tot ≤ 1 mg/m² resterende organische stoffen.

5. Kwaliteitsverificatie

- Dimensioneel en visueel: kameralengte, aansluitafstand, flensvlakheid ≤ 0,1 mm/100 mm.

- Vacuüm: integrale lekrate ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s (of klantklasse).

- Pompdruk: bereik de gespecificeerde einddruk binnen de gepubliceerde kromme.

- Mechanisch: hydrostatische of pneumatische proef bij 1,3 × ontwerpdruk.

6. Afwerking en verzending

- Oppervlak: glasstralen, satijnpolijst of elektropolijst (Ra ≤ 0,4 µm) om gasbelasting te verminderen.

- Bescherming: PVC-folie + vochtabsorberende zak, schokmontagekist.

- Uitgifte voorraad of directe integratie met pompen, kleppen en afzetbronnen.

Met elke fase traceerbaar naar ISO 9001 en EN 13980 (ATEX) waar vereist, arriveren onze kamers gereed voor directe hoogvacuümdienst — overal ter wereld.