Vaakumkambri valmistamine seletatuna

Samm-sammult juhend rahvusvahelistele ostjatele

1. Inseneritöö ja ettevalmistus

1.1 Disainipaket

- Geomeetria: määratlege sisemine paigutus, pump-, manomeeter- ja vaatlusaknade avad, elektroodide/sihtmärgi asukohad.

- Vaakumspec: seadke lõplik rõhk, lekkekiirus, tõendusrõhk; valige vastavalt sulam, keevitusmeetod ja tihendi tüüp.

- Dokumentatsioon: detailjoonised, üldine komplekteerimine, keevisõmbluse järjekorra plaan, täielik GD&T.

1.2 Materjalid ja tarbematerjalid

- Sulamid: 304L/316L aurustuv roostevaba teras (madala süsinikusisaldusega, madala gaasilahustumisega); Al- või Ti-sulameid tellimuse korral.

- Tarbematerjalid: sobiv täitematerjal, vaakumiklassi tihendid, CF/KF tarvikud.

- Metroloogia: heeliumi massspektromeetriline lekkekontroll, pindraughuse mõõtja, CMM.

2. Materjali töötlus

2.1 Eeltöötlus

- Rasvata: leeliselise või ultraheli-vanni abil rullimisõli eemaldamine.

- Happetöötlus ja passiveerimine: oksiidi/kooriku eemaldamine, Cr-oksiidkihi taastamine.

- Kaitse: kindad või kaitsekile töötlemise ajal.

2.2 Lõikamine ja kuju andmine

- Lõikamine: plasma-, laser- või veekiiriga.

- Rullimine: silindrid plaatide rullides; ristkülikukujulised korpused paindutud presspangas.

- Töötlemine: tihendikere õõnsused, keermed pinnaraughusega Ra ≤ 0,8 µm.

- Aukude tegemine: CNC-lõigatud aknad, pumbapordid; kõik servad tuleb katkestada.

3. Sobivus ja keevitamine

3.1 Kohalik montaaž

- Asustage minimaalse keevitusega; järjekord valitakse kokkutõmbumise tasakaalustamiseks.

3.2 Keevitamine

- Protsess: Vaikimisi GTAW (TIG); kõrgepuhtsuse liigendite jaoks elektronkiir.

- Aktsepteerimine: nulliline poorsumine, täielik läbitungimus, sile sisemine õmblus; ühepoolsete keevituste puhul kasutatakse sageli tagasilukustamist „kahepoolse“ profiili saavutamiseks.

- Kriitilised õmblused testitakse 100 % He-lekkimise korral kohapeal.

4. Pärast keevitamise toimingud

4.1 Pinge vähendamine

- Põlemik või kohalik PWHT 450–650 °C; suured osad võivad kasutada vibratsiooni põhjustatud pinge vähendamiseks.

4.2 Lõplik puhastamine

- Kordussemmistamine keevitatud piirkondades; ultraheli abil enjutus → deioniseeritud vesi → kuumakõrb suurtes kogustes; sertifitseeritud ≤ 1 mg/m² jääkorganiliste ainete suhtes.

5. Kvaliteedi kinnitamine

- Mõõtmete ja visuaalse kontrolli suhtes: kamberi pikkus, portide vahe, flantsi tasasus ≤ 0,1 mm/100 mm.

- Vaakum: integraalne lekkemäär ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s (või kliendi klass).

- Pumbatud alla: jõuda määratud lõpppunkti vahemikku, mis on märgitud tootja andmetabelis.

- Mehaaniline: hüdrostaatiline või pneumaatiline tugevuskatsetus 1,3 × disaini rõhul.

6. Viimistlemine ja saatmine

- Pind: klaaskivid, matkiv pind või elektropolmeerimine (Ra ≤ 0,4 µm), et vähendada gaasilast koormust.

- Kaitse: PVC-kile + kuivendusaine kott, vibreerimiskindel karp.

- Vabastamine ladustamiseks või otseste integratsioonidega pumbadega, ventiilidega ja sadestusallikatega.

Iga etapp on jälgitav vastavalt ISO 9001-le ja vajadusel EN 13980-le (ATEX), meie kambrid saabuvad valmis kohe kasutamiseks kõrge vaakumiga – üle kogu maailma.