Izdelava vakuumskih komor razložena

Korak za korakom priročnik za mednarodne kupce

1. Inženiring in priprava

1.1 Konstrukcijski paket

- Geometrija: določitev notranje razporeditve, priključkov za črpalko, manometer in pregledno okence, položaj elektrod/tarč.

- Vakuumski standard: nastavitev končnega tlaka, stopnje uhajanja, preizkusnega tlaka; izbira zlitine, načina varjenja in vrste tesnenja glede na zahteve.

- Dokumentacija: podrobni risbi, splošni sestav, načrt zaporedja varjenja, popolna GD&T dokumentacija.

1.2 Materiali in potrošni materiali

- Zlitine: avstenitna nerjaveča jekla 304L/316L (nizkogljična, nizko izhlapevanje); Al- ali Ti-zlitine po zahtevi.

- Potrošni materiali: ustrezen dodatni žični polnilni material, tesnila za vakuumsko uporabo, CF/KF oprema.

- Metrologija: detektor uhajanja z masnim spektrometrom na heliju, merilnik hrapavosti površine, CMM.

2. Obdelava materialov

2.1 Predobdelava

- Odmaščevanje: alkalna ali ultrazvočna kopel za odstranitev valjarnih olj.

- Kislenje in pasivacija: odstranitev oksidov/narepov, obnova krom-oksida filma.

- Zaščita: rokavice ali zaščitna folija med obdelavo.

2.2 Rezanje in oblikovanje

- Rezanje: plazma, laser ali vodni curek.

- Valjanje: valjasti deli na ploščatih valjih; pravokotni ohišji oblikovani na lomilnem orodju.

- Stroj: dokončni tesnitveni žlebovi, navojna priključka do Ra ≤ 0,8 µm.

- Izdelava lukenj: CNC-rezanje oken, črpalkovih priključkov; prelom vseh robov.

3. Sestava in varjenje

3.1 Začasna sestava

- Položite z minimalnimi začasnimi zavari; zaporedje izbrano tako, da uravnovesi krčenje.

3.2 Varjenje

- Postopek: GTAW (TIG) kot privzeto; elektronski žarek za spoje visoke čistosti.

- Sprejemljivost: nič poroznosti, popoln prevar, gladka notranja nit; enostranski zavari so pogosto zaščiteni od zadaj za profil »dvostranskega« zvara.

- Kritični šivi se testirajo na uhajanje helija 100 % na mestu.

4. Operacije po varjenju

4.1 Odprava napetosti

- Peč ali lokalno obdelava z žarom 450–650 °C; za večje dele je mogoče uporabiti vibracijsko odpravo napetosti.

4.2 Končno čiščenje

- Ponovno kislenje varilnih zon; ultrazvojno izpiranje → DI voda → sušenje z vročim zrakom; certificirano do ≤ 1 mg/m² ostankov organskih snovi.

5. Preverjanje kakovosti

- Dimenzionalno in vizualno: dolžina komore, razmik priključkov, ravnotežje flanša ≤ 0,1 mm/100 mm.

- Vakuum: integralna stopnja puščanja ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s (ali razred stranke).

- Črpanje: dosegne določeni končni vakuum v skladu z objavljeno krivuljo.

- Mehansko: hidrostatični ali pnevmatski preskus z 1,3 × konstrukcijskim tlakom.

6. Dokončanje in pošiljanje

- Površina: steklena kroglica, satensko poliranje ali elektropoliranje (Ra ≤ 0,4 µm) za zmanjšanje obremenitve s plini.

- Zaščita: PVC folija + vrečka s sušilnim sredstvom, udarno zaščiteni leseni sklad.

- Sprostitev na zaloge ali neposredna integracija s črpalkami, ventili in napravami za nanašanje.

Z vsakim korakom sledljivosti do ISO 9001 in EN 13980 (ATEX), kadar je to potrebno, naši komori prispejo pripravljene za takojšnjo uporabo v visoki vakuumi – kjerkoli po svetu.