Tyhjiökammion valmistus selitetty

Askel askeleelta -oppaaseuranta kansainvälisille ostajille

1. Suunnittelu ja valmistautuminen

1.1 Suunnittelupaketti

- Geometria: määritä sisäinen asettelu, pumppu-, anturi- ja tarkkailuikkunaportit, elektrodi/kohteen sijainnit.

- Tyhjiöspesifikaatio: aseta lopullinen paine, vuotoprosentti, koe-paine; valitse seos, hitsausmenetelmä, tiivistyksen tyyppi sen mukaan.

- Dokumentaatio: yksityiskohtaiset piirustukset, yleiskokoonpano, hitsaussarjana, täysi GD&T.

1.2 Materiaalit ja kulutustarvikkeet

- Seokset: 304L/316L austeniittista ruostumatonta terästä (matalahiilistä, matalan kaasunmuodostuksen omaavaa); Al- tai Ti-seokset tarpeen mukaan.

- Kulutustarvikkeet: sopusointinen täyttömetallilanka, vaakapaineluokan tiivisteet, CF/KF-kokoonpanot.

- Mittaustekniikka: heliummassaspektrometrinen vuotoilmaisin, pinnankarheusmittari, koordinaattimittauslaite.

2. Materiaalien käsittely

2.1 Esikäsittely

- Rasvanpoisto: emäliuoksesta tai ultraäänihauteesta poistetaan valssausöljyt.

- Happojuokse ja passivointi: hapotus poistaa hapetusepäpuhtaudet/muokkautumishionnan, kromioksidikalvo palautetaan.

- Suojaus: käsineet tai irrotettava kalvo koneistuksen aikana.

2.2 Leikkaus ja muovaus

- Leikkaus: plasmaleikkaus, laserleikkaus tai vesileikkaus.

- Valssaus: sylinterit levyvalssauskoneilla; suorakulmaiset kotelot taivutuslevyllä muotoilu.

- Kone: viimeistelytiivistysura, kierteitetyt liittimet pinnankarkeuteen Ra ≤ 0,8 µm.

- Reikien tekeminen: CNC-veistetyt ikkunat, pumppuliittimet; katkaista kaikki reunat.

3. Sovitus ja hitsaus

3.1 Esihitsaus

- Sijoita mahdollisimman vähillä esihitsauksilla; järjestys valitaan tasapainottamaan kutistumista.

3.2 Hitsaus

- Menetelmä: GTAW (TIG) oletuksena; elektronisuihku korkean puhtauden liitoksille.

- Hyväksyntä: nollapohjaisuus, täysi läpäisy, sileä sisäpuolinen sauma; yksipuolisia hitsauksia suojataan usein takapuolelta saadakseen ”kaksipuolinen” profiili.

- Kriittiset saumat testataan 100 % heliumitiiviystestillä paikan päällä.

4. Jälkikäsittelytoimenpiteet

4.1 Jännitysten poisto

- Uunissa tai paikallisesti, lämpötilassa 450–650 °C; suuria osia voidaan käsitellä myös värähtelyjännitysten poistolla.

4.2 Lopullinen puhdistus

- Uudelleenhapotus hitsausalueille; ultraäänipesu → deionisoitu vesi → kuuma-ilmasuihku; sertifioitu jäljellä olevien orgaanisten aineiden määräksi ≤ 1 mg/m².

5. Laadun varmistus

- Mitta- ja visuaalitarkastus: kammion pituus, liitäntävälien etäisyys, laippojen tasomaisuus ≤ 0,1 mm/100 mm.

- Tyhjiö: sisäinen vuotovirta ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s (tai asiakkaan luokan mukaan).

- Pumpattu alipaineeseen: saavutetaan määritetty lopullinen paine julkaistun käyrän mukaisesti.

- Mekaaninen: hydrostaattinen tai pneumaattinen koeputkistopaine 1,3 × mitoituspaine.

6. Viimeistely ja toimitus

- Pinta: lasihiutale, satiinipintainen tai sähkökiillotettu (Ra ≤ 0,4 µm) kaasukuorman vähentämiseksi.

- Suojaus: PVC-kalvo + kuiva-aine pussi, iskueristävä kasa.

- Vapautus varastoon tai suora integraatio pumppujen, venttiilien ja pinnoituslähteiden kanssa.

Jokaisen vaiheen kautta ISO 9001 ja EN 13980 (ATEX) -standardien mukaisesti tarvittaessa, kammioitamme ovat valmiina heti käytettäväksi korkean tyhjiön tehtäviin – missä tahansa maailmanlaajuisesti.