Fabbricazione di Camere a Vuoto Spiegata

Una guida passo dopo passo per gli acquirenti internazionali

1. Progettazione e Preparazione

1.1 Pacchetto di progettazione

- Geometria: definire la disposizione interna, le aperture per pompe, manometri e visori, le posizioni degli elettrodi/target.

- Specifiche del vuoto: impostare la pressione finale, la velocità di perdita, la pressione di prova; scegliere lega, metodo di saldatura e tipo di tenuta di conseguenza.

- Documentazione: disegni dettagliati, assemblaggio generale, piano della sequenza di saldatura, completo GD&T.

1.2 Materiali e consumabili

- Leghe: acciaio inossidabile austenitico 304L/316L (basso contenuto di carbonio, bassa degassificazione); leghe di Al o Ti su richiesta.

- Consumabili: filo d'apporto abbinato, guarnizioni per vuoto, componenti CF/KF.

- Metrologia: rilevatore di perdite a spettrometro di massa dell'elio, rugosimetro, MCM.

2. Trattamento dei materiali

2.1 Pretrattamento

- Sgrassaggio: bagno alcalino o ad ultrasuoni per rimuovere oli di laminazione.

- Sbiancamento e passivazione: rimozione di ossido/scaglie, ripristino del film di ossido di Cr.

- Protezione: guanti o pellicola da staccare durante la lavorazione.

2.2 Taglio e formatura

- Taglio: plasma, laser o getto d'acqua.

- Rullatura: cilindri su rulli a piastre; gusci rettangolari formati a pressa.

- Lavorazione: finitura delle gole di tenuta, filettature su porti fino a Ra ≤ 0,8 µm.

- Foratura: finestre tagliate al CNC, porti di pompa; smussare tutti i bordi.

3. Montaggio e saldatura

3.1 Saldatura di assemblaggio

- Posizionare con il minimo di saldature di puntatura; la sequenza deve essere scelta per bilanciare il restringimento.

3.2 Saldatura

- Processo: GTAW (TIG) come predefinito; saldatura a fascio di elettroni per giunti di alta purezza.

- Accettazione: zero porosità, completa penetrazione, filetto interno liscio; le saldature monolaterali sono spesso protette sul retro per ottenere un profilo "a doppio lato".

- Giunti critici testati al 100% con elio per perdite in situ.

4. Operazioni post-saldatura

4.1 Smagrimento

- Forno o trattamento termico locale (PWHT) a 450–650 °C; per parti di grandi dimensioni può essere utilizzato lo smaltimento delle tensioni mediante vibrazione.

4.2 Pulizia finale

- Ripassare con decapaggio le zone saldate; risciacquo ultrasonico → acqua deionizzata → asciugatura ad aria calda; certificato per residui organici ≤ 1 mg/m².

5. Verifica della qualità

- Dimensionale e visiva: lunghezza della camera, interasse dei raccordi, planarità delle flange ≤ 0,1 mm/100 mm.

- Vuoto: tasso di perdita integrale ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s (o classe richiesta dal cliente).

- Estrazione del vuoto: raggiungere il valore finale specificato entro la curva pubblicata.

- Meccanica: prova idrostatica o pneumatica a 1,3 × la pressione di progetto.

6. Finitura e spedizione

- Superficie: sabbiatura con microsfere di vetro, finitura satinata o elettrolucidatura (Ra ≤ 0,4 µm) per ridurre il carico gassoso.

- Protezione: pellicola in PVC + sacchetto disidratante, imballato in cassa antiurto.

- Rilascio a magazzino o integrazione diretta con pompe, valvole e sorgenti di deposizione.

Con ogni fase tracciabile secondo ISO 9001 ed EN 13980 (ATEX) laddove richiesto, le nostre camere arrivano pronte per operare immediatamente in alto vuoto, ovunque nel mondo.