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- 概要
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VBG01シリーズの高真空バタフライバルブは、単結晶シリコンウエハー製造に使用される結晶成長炉に広く用いられています。これらのバルブはパイプ内圧力が非常に低い状態（1.3×10"Paまで）でもゼロリークを実現します。鍛造ステンレス鋼製ボディと特殊シール構造設計により、バルブの長寿命を確保しています。
| バルブ本体材質 | SS304/SS316L | |
| シール材質 | オプションでFKM、NBR | |
| 真空範囲 | 10-6.7×105 Pa | |
| リーク率 | 1.3x103 Pa・L/s | |
| 保守までの作動回数 | 80,000 回 | |
| 開角度 | 0-90度 | |
| 温度範囲 | FKM シートシール | -30℃ から 150℃ |
| NBR シートシール | -25℃～80℃ | |
| 作動 | 手動、空圧式アクチュエータ、電動式アクチュエータ | |
| 圧縮空気 | 0.4-0.8MPa | |
| 動作時間 | アルミニウム製アクチュエータ | ≤3秒 |
| 電動式オンオフアクチュエータ | 標準 30秒、10秒・15秒 オプション | |
| ソレノイド電圧 | 標準：AC220V、50Hz、6W オプション：AC110V、DC24V、DC12V | |
| 気圧式アクチュエーター | 標準：両動作型 オプション：1.ノーマリークローズ 2.ノーマリーオープン | |
| 電動動装置 | 標準：オンオフ型 オプション：比例制御型 | |
| ポジションインジケーター付きで提供可能 | 信号フィードバックはオプション | |
手動ISO-Fタイプ バタフライバルブ
| モデル 304 | サイズ | D/mm | D0／mm | B/mm | H/mm | B1/mm | L/mm | N.W./kg |
| VBG04H2431SF63NN | ISO-F63 | 130 | 110 | 26 | 128.5 | 45 | 135 | |
| VBG04H2431SF100NN | ISO-F100 | 165 | 145 | 30 | 152.5 | 45 | 135 | |
| VBG04H2431SF160NN | ISO-F160 | 225 | 200 | 35 | 180.5 | 45 | 165 | |
| VBG04H2431SF200NN | ISO-F200 | 285 | 260 | 40 | 213 | 45 | 185 |
手動JB919形バタフライ弁
| モデル 304 | サイズ | D/mm | D0／mm | D1/mm | B/mm | H/mm | B1/mm | L/mm | n-φc | N.W./kg |
| VBG04H2432032NN | Dn32 | 78 | 64 | 36 | 22 | 102 | 45 | 115 | 4-φ7 | |
| VBG04H2432040NN | DN40 | 85 | 70 | 44 | 22 | 106 | 45 | 115 | 4-φ7 | |
| VBG04H2432050NN | DN50 | 110 | 90 | 55 | 22 | 118 | 45 | 115 | 4-φ9 | |
| VBG04H2432065NN | DN65 | 125 | 105 | 70 | 26 | 126 | 45 | 135 | 4-φ9 | |
| VBG04H2432080NN | DN80 | 145 | 125 | 85 | 30 | 135 | 45 | 135 | 4-φ9 | |
| VBG04H2432100NN | Dn100 | 170 | 145 | 105 | 30 | 150 | 45 | 135 | 8-φ12 | |
| VBG04H2432125NN | Dn125 | 195 | 170 | 131 | 35 | 165 | 45 | 165 | 8-φ12 | |
| VBG04H2432150NN | Dn150 | 220 | 195 | 156 | 35 | 178 | 45 | 165 | 8-φ12 | |
| VBG04H2432200NN | Dn200 | 275 | 250 | 208 | 40 | 208 | 45 | 165 | 8-φ12 | |
| VBG04H2432250NN | Dn250 | 330 | 300 | 258 | 45 | 262 | 127 | φ160 | 8-φ14 | |
| VBG04H2432300NN | Dn300 | 380 | 350 | 308 | 55 | 287 | 127 | φ160 | 8-φ14 | |
| VBG04H2432400NN | Dn400 | 500 | 465 | 408 | 60 | 361 | 175 | φ200 | 8-φ18 | |
| VBG04H2432500NN | Dn500 | 600 | 565 | 510 | 80 | 447 | 175 | φ200 | 12-φ18 |
