QiiMii UHVマルチ-CF真空チャンバー：高純度真空環境向けのモジュラー型コンフラット密封マルチポートハウジング

QiiMii UHV（超高真空）マルチ-CF真空チャンバーは、各ポートに統合されたコンフラットTM（CF）シール面を採用した、高精度・モジュラー式・マルチポートのフィッティングおよびハウジングです。当社では、これらをMCFTMまたはマルチ-CFTM真空チャンバー／フィッティングと呼んでおり、複数のサイズおよび構成でご提供しています。これらのコンパクトな設計は、業界で広く使用されている他のほとんどの真空フィッティングと互換性があり、最終的には清潔で信頼性の高い真空環境を効率的に構築することを目的としています。

Cnc製

前述の通り、これらの一体構造は、高度なCNC技術を用いて単一の金属材から製造されます。この製造手法により、業界で一般的な、複数の部品を溶接して組み立てた構造と比較して、材料の体積および構造の効率的な利用が可能になります。これらの製造技術では高い精度が実現可能であり、ポートの配列精度は通常±0.1度以内です。

ConFlat® フランジ密封面

ConFlat®フランジ（CF）のシール面は、グローバル構造体に直接機械加工されています。このシール面は、ナイフエッジ形状を採用しており、間に可鍛性銅ガスケットを挟んで使用され、さまざまな部品のフランジ間においてシール機能と同時に構造的・安定した接続を提供します。非常に低圧（< 10⁻¹¹ torr）を伴う超高真空（UHV）およびさらに極端な高真空（XHV）においても、広範囲の温度条件下で予測可能な信頼性の高いシールが得られます。

Multi-CF™内径ポート（ボア直径）は、 QiiMii 部品において、従来設計と比較してわずかに拡大されており、チャンバー内部容積へのアクセス性向上およびコンダクタンスの増加を実現し、より効率的な真空排気を可能としています。これらの改良されたポート構造は、標準CFシール面との互換性を維持しつつ、その構造的・シール性能を損なうことなく実現されています。

UHVとXHVのアプリケーションを最適化する真空室の他の特徴には,高度に磨き上げられた鏡のような表面,内面面積を最小限にするために滑らかな丸められたコンート表面,真空空間内の溶接がほとんどない場合 (現存する溶接は内面から溶接されます). 業界全体で知られる 独特な外観で 最高レベルの精度,品質,機能を証明しています

双重密度フレンズ 固定穴

周縁の二重密度スローリング孔の配列は,サイズが許容する場合には,通常各CF密封表面ポートのフレンズポートに関連付けられる. この方法により,小角増幅で小室をクロックしたり回転させたりでき,冗長性も確保できます (例えば,ボルトに問題があり,スレッドが損傷した場合).

穴は通常、標準ねじ切り仕様で提供されますが、メートルねじ仕様もご要望に応じて対応可能です。ボルトの取り付け時の摩擦を低減し、ねじ山の咬合（ガリング）を防止するため、銀メッキボルトまたは同様の潤滑処理済みボルトの使用を推奨します。

穴の数は2倍ありますが、隣接するフランジを固定する際には通常、その半数の穴のみが使用されます。これらの追加の穴により、密接接続用フィッティング（Close Coupling Fittings）を用いて隣接するチャンバーを直接接続する場合でも、互いに直交する類似した方向で取り付けることが可能になります。 QiiMii 密接接続用カップラー（Close Couplers）については、本ドキュメントの後半でさらに詳しく説明します。

注意：ユーザーは、取り付けるフランジの厚さおよびCFポートのボルト穴の深さに基づき、適切なボルト長を慎重に決定する必要があります。予定されるボルト長については、実際の部品を用いてキャリパーによる深さ測定を行い、全ボルト挿入深さを確認することを推奨します。ボルトが「長すぎると」、締め付け中に「底付き」（ボルト先端が穴底部に当たってそれ以上進まなくなる）状態となります。 ねじ山を剥がしてください！！ 場合によっては、正確なボルト長さのものがないため、適切な長さに切断する必要があります。ボルト穴へのボルトの最小推奨嵌合長は、ボルトの公称直径1本分です。理想的な嵌合長は、ボルト直径の1.5～2.0倍です。ただし、この値は用途によって変動し、またボルトおよび真空チャンバーのボルト穴を構成する材料にも依存します。ユーザーは、自らのアプリケーションに最適な構成を確認するために、独自に調査を行う必要があります。

内面取付

シール面の直径が2.75インチ以上であるCF（Conflat）フランジポートでは、通常、内部ボアの内周に「グリッパー溝（Grabber Grooves）」と呼ばれる内部周方向溝が設けられています（図7参照）。これらのグリッパー溝は、グリッパーマウントクランプ／コネクタを用いて、各種デバイスや装置をチャンバー内面に確実に取り付ける（マウントする）ために使用されます。

グレーバー・グルーブは、通常、すべてのフランジ直径において同一の断面寸法を有しており、ポート直径が許容する範囲で、グルーブ・グレーバー・コネクタを互換性を持って交換できます。

マウント用フランジおよびフランジアダプタも別途ご用意しており、他社製CFフィッティングに取り付けることで、チャンバー構造に一体型のマウントグルーブが存在しない場合でも、グレーバーグルーブおよび外部マウントチャネルを提供します。

QiiMii UHV（超高真空）真空チャンバーは、各ポートに統合されたConFlat™（CF）シール面を採用した、高精度・モジュラー式・多ポート対応のフィッティングおよびハウジングです。

QiiMii マルチ-CF™ UHVフィッティングは、計測機器用ハウジングおよび真空チャンバーの両方として設計されており、その具体的な設計目的は以下のとおりです：

• 多様な内部装置を容易にサポートすること
• 複雑なポート配置を可能にすること
• 外部占有面積を最小限に抑えつつ、内部の機能的容積を最大化すること
• 内部への容易なアクセスを確保すること
• 排気効率を向上させること
• モジュラー式寸法体系に準拠すること
• 近接して集団を形成する

ほとんどのチャンバーには、内部ポート（直径2.75インチ以上）の内径に沿って、内部装置を確実に取り付けるための内部マウント用溝（「グレーバーグルーブ」）が設けられています。また、各CFシール面のフランジポートには、通常、周方向に配置された二重密度のタップ穴が設けられており、これによりチャンバーをより小さな角度単位で回転させることができるとともに、冗長性も確保されます。

以下の選択可能なインタラクティブ3Dモデルを用いて、各種Multi-CF真空チャンバーの設計および形状について詳しくご確認ください。画像を選択し、読み込みが完了したら、ウィンドウ内でマウス左ボタンをドラッグしてモデルを操作できます。