QiiMii UHV(초고진공) 멀티-CF 진공 챔버는 각 포트에 통합된 컨플랫(Conflat™) 밀봉 표면을 활용하는 정밀하고 모듈식이며 다중 포트 구조의 피팅 및 하우징입니다. 당사는 이를 MCFTM 또는 멀티-CFTM 진공 챔버/피팅이라 부르며, 여러 크기와 구성으로 제공됩니다. 이러한 소형 설계는 일반적으로 업계에서 사용되는 대부분의 다른 진공 피팅과 호환되며, 궁극적으로 청결하고 신뢰성 높은 진공 환경을 효율적으로 구축하는 데 기여합니다.
이전에 언급한 바와 같이, 이러한 모노리식 구조물은 고급 CNC 기술을 사용하여 단일 금속 재료에서 가공됩니다. 이 제작 방식은 업계에서 일반적으로 여러 개의 부품을 용접하여 조립하는 다른 구조물과 비교할 때, 재료 및 구조의 효율적인 활용을 가능하게 합니다. 이러한 제조 기술을 통해 높은 정밀도를 달성할 수 있으며, 포트 정렬 오차는 일반적으로 ±0.1도 이내입니다.
ConFlat® 플랜지(CF)의 밀봉 표면은 글로벌 구조물에 직접 가공되어 있습니다. 이 밀봉 표면은 나이프 엣지 형상(knife-edge geometry)을 활용하며, 중간에 부드러운 구리 개스킷(malleable copper gasket)을 삽입하여 사용되며, 다양한 구성 요소의 플랜지 간에 밀봉 기능뿐 아니라 구조적·안정적인 연결을 동시에 제공합니다. 매우 낮은 압력(< 10⁻¹¹ torr) 조건에서 발생하는 초고진공(UHV) 및 심지어 극고진공(XHV) 환경에서도 예측 가능한 밀봉 성능을 광범위한 온도 범위에 걸쳐 신뢰성 있게 확보할 수 있습니다.
컴포넌트의 멀티-CF™ 내부 포트 지름(보어 지름)은 QiiMii 기존 설계 대비 약간 확대되어 챔버 내부 용적에 대한 접근성을 향상시키고, 동시에 전도도(conductance)를 증가시켜 진공 펌핑 효율을 높입니다. 이러한 개선된 포트 특징은 여전히 표준 CF 밀봉 표면과 호환되며, 구조적 안정성과 밀봉 성능을 모두 유지합니다.
우리의 진공 챔버는 극고진공(UHV) 및 초극고진공(XHV) 응용 분야를 최적화하기 위해 고도로 연마된 거울처럼 반사되는 표면, 내부 표면적을 최소화하기 위한 매끄럽고 둥근 윤곽의 표면, 그리고 진공 공간 내부에 용접 부위를 최소화하거나 아예 배제한 설계(존재하는 용접 부위는 내측에서 용접됨)를 특징으로 합니다. 당사만의 독특한 외관은 업계 전반에 걸쳐 널리 알려져 있으며, 최고 수준의 정밀도, 품질 및 기능성을 입증합니다.
챔버의 크기가 허용하는 경우, 일반적으로 각 CF 밀봉 표면 포트의 플랜지 포트에는 원주 방향으로 배열된 이중 밀도 나사 구멍 배열이 적용됩니다. 이를 통해 챔버를 더 작은 각도 단위로 클록킹 또는 회전시킬 수 있을 뿐 아니라, 예비성(예: 볼트 결함으로 인해 나사산이 손상된 경우 등)도 확보할 수 있습니다.
구멍은 일반적으로 표준 나사산으로 제공되지만, 요청 시 메트릭 나사산도 제공됩니다. 볼트 삽입 시 마찰을 줄이고 나사산 갈림 현상(thread galling)을 방지하기 위해 은도금 볼트 또는 유사한 윤활제 사용을 권장합니다.
구멍 수는 두 배로 많지만, 인접한 플랜지를 고정할 때는 일반적으로 절반만 사용합니다. 이러한 추가 구멍은 인접 챔버를 직접 연결할 때 서로 직교하는 방향으로 유사하게 장착할 수 있도록 해줍니다. QiiMii 클로즈 커플링 피팅(Close Coupling Fittings)을 통해 연결할 경우입니다. 클로즈 커플러(Close Couplers)에 대해서는 본 문서 후반부에서 보다 상세히 설명합니다.
경고: 사용자는 플랜지(연결될 부품)의 두께 및 CF 포트 볼트 구멍의 깊이를 기준으로 적절한 볼트 길이를 신중히 결정해야 합니다. 예상 볼트 길이를 실제 부품에서 캘리퍼스를 이용해 전체 볼트 삽입 깊이를 측정하여 확인하는 것이 권장됩니다. 볼트가 '너무 길면' 조임 과정 중에 '바닥에 닿아(botttom out)' 제대로 조일 수 없습니다. 나사를 제거하세요!! 어떤 경우에는 정확한 볼트 길이를 구할 수 없어 적절한 길이로 절단해야 할 수도 있습니다. 볼트 홀 내에서 권장되는 최소 볼트 맞물림 길이는 볼트 지름의 1배입니다. 이상적인 맞물림 길이는 볼트 지름의 1.5배에서 2.0배 사이입니다. 이 값은 볼트와 진공 챔버 볼트 홀을 구성하는 재료에 따라 달라질 수 있으며, 적용 사례에 따라 달라질 수 있으므로 사용자는 본인의 응용 분야에 가장 적합한 설정을 확인하기 위해 자체적으로 검토해야 합니다.
밀봉면 직경이 2.75인치 이상인 포트의 CF(Conflat) 애퍼처 내측 보어에는 일반적으로 ‘그랩버 그루브(Grabber Grooves)’라고 부르는 내부 원주 방향 채널이 존재합니다(그림 7 참조). 이 그랩버 그루브는 그루브 그랩버 마운팅 클램프/커넥터를 사용하여 다양한 장치 및 기기를 챔버 내부에 안정적으로 고정(마운팅)하는 데 사용됩니다.
그랩버 그루브는 일반적으로 모든 플랜지 지름에서 동일한 단면 치수를 가지므로, 포트 지름이 허용하는 범위 내에서 그루브 그랩버 커넥터를 일부 상호 교체할 수 있습니다.
기타 제조사의 CF 피팅에 부착할 수 있는 마운팅 플랜지 및 플랜지 어댑터도 제공되며, 챔버 구조에 통합된 마운팅 그루브가 없는 경우 그랩버 그루브와 외부 마운팅 채널을 제공합니다.
QiiMii UHV(초고진공) 진공 챔버는 각 포트에 통합된 콘플랫™(CF) 밀봉 표면을 활용하는 정밀하고 모듈식이며 다중 포트의 피팅 및 하우징입니다.
QiiMii 멀티-CF™ UHV 피팅은 계측기 하우징과 진공 챔버 모두로 설계되었으며, 구체적인 설계 목적은 다음과 같습니다:
대부분의 챔버는 내부 포트(지름 2.75인치 이상)의 내경에 내부 장치를 안정적으로 고정할 수 있도록 내부 마운팅 채널(‘그랩버 그루브’)을 포함합니다. 각 CF 밀봉 표면의 플랜지 포트에는 일반적으로 이중 밀도 나사 구멍이 원주 방향으로 배열되어 있어 챔버를 더 작은 각도 단위로 회전시킬 수 있을 뿐만 아니라, 신뢰성을 높이기 위한 중복 기능도 제공합니다.
아래에서 선택 가능한 상호작용식 3D 모델을 통해 다양한 멀티-CF 진공 챔버의 설계 및 기하학적 구조에 대해 자세히 알아보십시오. 이미지를 선택한 후 로드되기를 기다린 다음, 창 내에서 마우스 왼쪽 버튼을 사용해 모델을 자유롭게 조작할 수 있습니다.
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