QiiMii UHV көп CF вакуумдық камералары: Жоғары тазалықтағы вакуум ортасы үшін модульді Conflat тығыздау беттері бар көп портты корпус

QiiMii UHV (ультра жоғары вакуум) көп CF вакуумдық камералары — бұл әрбір портта интегралды Conflat™ (CF) герметиктік беттері бар дәл, модульді, көп портты қосылыстар мен корпустар. Біз оларды MCFTM немесе көп CF™ вакуумдық камералары немесе қосылыстары деп атаймыз, олар әртүрлі өлшемде және конфигурацияда қолжетімді. Бұл компактты дизайндар әдетте өнеркәсіптегі басқа вакуумдық қосылыстармен сәйкес келеді, негізгі мақсаты — таза және сенімді вакуумдық орталарды тиімді құруға мүмкіндік беру.

CNC жасалуы

Алдыңғыда айтылғандай, бұл монолиттік құрылымдар жоғары дәлдікті CNC технологиясын қолдана отырып, бір дана металл заготовкасынан жасалады. Бұл өндіріс әдісі осындай конфигурацияларда материал көлемі мен құрылымның тиімді пайдаланылуын қамтамасыз етеді, ал өнеркәсіптегі басқа құрылымдар әдетте бірнеше бөлшекке бөлінген және бір-біріне дәнекерленген бөлшектерден жасалады. Осы өндіріс әдістері көмегімен жоғары дәлдікке қол жеткізуге болады, сонда фланецтің порттарының орналасуы әдетте 0,1 градус ішінде болады.

ConFlat® Фланецтің тығыздау беттері

ConFlat® фланцы (CF) тығыздау беттері глобалдық құрылымға тікелей өңделген. Бұл тығыздау беті пышақ ұшы пішінін қолданады және аралықта орналасқан иілгіш мыс сақинасымен қолданылады; ол әртүрлі компоненттердің фланцтары арасында тығыздау ғана емес, сонымен қатар құрылымдық және тұрақты қосылу қамтамасыз етеді. Төменгі қысым (< 10-11 торр) қолданыстарымен бірге келетін ультра жоғары вакуумдар (UHV) және тіпті экстремалды жоғары вакуумдар (XHV) үшін кең температуралық диапазонда сенімді, болжанатын тығыздаулар алынуы мүмкін.

Multi-CFTM ішкі порт диаметрлері (ішкі диаметр) QiiMii компоненттерде стандартты дизайндарға қарағанда оңтайландырылған, нәтижесінде вакуум камерасының ішкі көлеміне қатысу жақсарып, өткізгіштік артады, бұл вакуумды тиімдірек соруға мүмкіндік береді. Бұл жақсартылған порт сипаттамалары стандартты CF тығыздау беттерімен әлі де сәйкес келеді және олардың құрылымдық және тығыздау тұрақтылығы сақталады.

Бізге тән вакуумдық камералардың басқа да сипаттамалары — ультра жоғары вакуум (UHV) және экстремалды жоғары вакуум (XHV) қолданыстарын оптимизациялауға арналған. Оларға көрінетін беттердің айна сияқты жоғары дәрежеде полировкаланған беттері, ішкі бет ауданын азайту үшін жұмсақ доғал контурлы беттері және вакуумдық кеңістік ішінде саны аз немесе мүлдем болмаған дәнекерлеулер кіреді (болса, дәнекерлеулер ішкі беттен орындалады). Біздің ерекше сыртқы пішініміз салада кеңінен танымал және ең жоғары дәрежедегі дәлдікті, сапаны және функционалдықты көрсетеді.

Екі еселі тығыздықтағы фланец орнату тесіктері

Әдетте, CF герметиктік бетінің әрбір фланец портына өлшемі рұқсат еткен сайын, орамды екі еселі тығыздықтағы тісті тесіктер жиыны сәйкес келеді. Бұл камераларды кіші бұрыштық қадамдармен сағаттық бағытта немесе қарама-қарсы бағытта бұруға мүмкіндік береді, сонымен қатар резервтік қорғау қамтамасыз етіледі (мысалы, бұрандалы шабақта ақаулық пайда болып, тісті бетті бұзып тастаса).

Тесіктер әдетте стандартты резьбамен қолжетімді, бірақ метрлік резьбалар да тапсырыс бойынша қолжетімді. Болттарды орнату кезінде үйкелісті азайту және резьбаның қабаттануын (галинг) болдырмау үшін күміспен капталған болттарды немесе оған ұқсас майлайтын заттарды қолдануды ұсынамыз.

Тесіктер саны екі есе көп болса да, көршілес фланецті бекіту үшін әдетте тесіктердің жартысы ғана қолданылады. Осы қосымша тесіктер көршілес камераларды бір-біріне тікелей қосқан кезде ұқсас ортогональды бағытта орнатуға да мүмкіндік береді. QiiMii Жақын қосылу қосымшалары. Жақын қосылғыштар туралы толығырақ талқылау осы құжаттың кейінгі бөлімінде беріледі.

ЕСКЕРТУ: Пайдаланушы фланец (қосылатын) қалыңдығы мен CF портының болт тесігінің тереңдігіне сәйкес тиімді болт ұзындығын мұқият анықтауы керек. Пайдаланушы болттың болжанатын ұзындығын шынымен қолданылатын бөлшектерде каліптердің тереңдік өлшемі арқылы жалпы болт тереңдігін анықтау арқылы растауын ұсынамыз. Егер болт «артық ұзын» болса, онда бұранданы бұрғылау процесінде ол «түбіне дейін жетеді» және тісті бетті алыңыз!! Кейбір жағдайларда нақты болт ұзындығы қолжетімді болмауы мүмкін, сондықтан оны қажетті ұзындыққа кесу керек. Болт тесігіндегі ұсынылатын ең аз болт қатысуы — болттың толық диаметріне тең. Идеалды қатысу — болт диаметрінің 1,5–2,0 есе. Бұл мән әртүрлі болуы мүмкін және болт пен вакуумдық камера болт тесігін құрайтын материалдарға да байланысты. Қолданушы өзінің қолданысы үшін ең тиімді конфигурацияны растау үшін өзі зерттеу жүргізуі керек.

Ішкі орнату

Сыртқы диаметрі 2,75 дюйм (70 мм) немесе одан көп болатын CF кіріс тесіктерінде (7-сурет) тығыздау беті бар ішкі циркулярлық каналдар — біз оларды «Граббер Ойықтары» деп атаймыз — әдетте CF кіріс тесігінің ішкі бойында орналасады. Граббер Ойықтары әртүрлі құрылғылар мен аппараттарды камераның ішіне ойықтарға арналған Граббер Орнату Клиптері/қосқыштары арқылы сенімді түрде орнату үшін қолданылады.

Грабберлық ойықтардың көлденең қимасының өлшемі әдетте барлық фланец диаметрлерінде бірдей болады, сондықтан порт диаметріне қарай Грабберлық ойықтың қосылғыштарын ауыстыруға болады.

Қосымша фланецтер мен фланец адаптерлері де қолжетімді, олар басқа өндірушілердің CF қосылғыштарына орнатылуы мүмкін және интегралды орнату ойықтары камера құрылымында қол жетімді болмаған жағдайда грабберлық ойықтар мен сыртқы орнату каналдарын қамтамасыз етеді.

QiiMii UHV (ультра жоғары вакуум) вакуумдық камералар — әрбір портта интегралды ConFlat™ (CF) тығыздау беттерін қолданатын дәл, модульді, көппортты қосылғыштар мен корпустар.

QiiMii Көп-CF™ UHV қосылғыштары құрылғылардың корпусы ретінде де, сонымен қатар вакуумдық камералар ретінде де жобаланған, ал олардың нақты жобалау мақсаты мыналарға бағытталған:

• Ішкі құрылғылардың әртүрлілігін ыңғайлы қолдау
• Күрделі порт орналасуына мүмкіндік беру
• Сыртқы аумағын азайту үшін компактты қалыпта қалып отырып, ішкі функционалды көлемді максималды түрде пайдалану
• Ішкі қатысуға ыңғайлы мүмкіндік беру
• Сорғылау тиімділігін жақсарту
• Модульді өлшемдеу жүйесін қолдану
• Жақын қашықтықта топтасып орналасады

Көптеген камералардың ішкі порттарында (2,75 дюйм немесе одан да үлкен) ішкі құрылғыларды орнатуға мүмкіндік беретін ішкі орнату каналдары — «Граббер қырлары» бар. Әрбір CF герметиктік бетінің фланецтік портымен әдетте екі еселенген тығыздықтағы тісті тесіктердің шеңберлік орналасуы байланыстырылады; бұл камераларды кіші бұрыштық қадамдармен айналдыруға және сондай-ақ резервтік қамтамасыз етуге мүмкіндік береді.

Төменде таңдалған интерактивті 3D модельдер арқылы әртүрлі Multi-CF вакуумдық камералардың дизайны мен геометриясы туралы көбірек біліңіз. Суретті таңдаңыз, оны жүктеңіз және одан кейін моделмен әрекеттесіңіз: терезенің ішінде сол жақ тышқан курсорымен қозғалыңыз.