Многопортовые вакуумные камеры QiiMii UHV Multi-CF: модульные корпуса с герметичными фланцами Conflat для сред с высокой степенью вакуума

QiiMii Ультравысоковакуумные (UHV) многопортовые вакуумные камеры — это точные, модульные фитинги и корпуса с несколькими портами, оснащённые интегрированными уплотнительными поверхностями типа Conflat™ (CF) на каждом порту. Мы называем их MCFTM или Multi-CFTM вакуумными камерами или фитингами; они выпускаются в нескольких размерах и конфигурациях. Эти компактные конструкции, как правило, совместимы с большинством других вакуумных фитингов, применяемых в отрасли, что в конечном счёте обеспечивает эффективное создание чистых и надёжных вакуумных сред.

Изготовление на основе станков с CNC

Как отмечалось ранее, эти монолитные конструкции изготавливаются из единого металлического заготовочного блока с использованием передовых технологий ЧПУ. Такой способ изготовления позволяет эффективно использовать объём материала и обеспечивать прочность конструкции по сравнению с другими решениями в отрасли, которые, как правило, состоят из нескольких компонентов, соединённых между собой сваркой. Благодаря данным технологиям производства достигается высокая точность, при этом совмещение фланцевых отверстий обычно составляет не более 0,1 градуса.

Уплотнительные поверхности фланцев ConFlat®

Уплотнительные поверхности фланца ConFlat® (CF) обрабатываются непосредственно на глобальной конструкции. Эта уплотнительная поверхность, выполненная по геометрии «острого края», используется совместно с мягким медным прокладочным кольцом и обеспечивает как герметичное соединение, так и структурную устойчивость между фланцами различных компонентов. Надёжные и предсказуемые уплотнения для сверхвысокого вакуума (UHV) и даже экстремально высокого вакуума (XHV), характерного для применений при очень низких давлениях (< 10⁻¹¹ торр), могут быть получены в широком диапазоне температур.

внутренние диаметры портов Multi-CF™ (диаметр отверстия) в QiiMii компонентах слегка увеличены по сравнению с традиционными конструкциями, чтобы обеспечить лучший доступ к внутреннему объёму камеры, а также повысить проводимость, что позволяет осуществлять более эффективную откачку вакуума. Эти усовершенствованные порты остаются совместимыми со стандартными уплотнительными поверхностями CF и сохраняют свою структурную целостность и герметичность.

Другие особенности наших вакуумных камер, оптимизированных для применения в сверхвысоком (UHV) и экстремально высоком (XHV) вакууме, включают высокоотполированные зеркальные поверхности с плавными закруглёнными контурами для минимизации внутренней площади поверхности, а также минимальное количество или полное отсутствие сварных швов внутри вакуумного объёма (при наличии сварные швы выполняются из внутренней поверхности). Наш уникальный внешний вид хорошо известен во всей отрасли и служит подтверждением высочайшего уровня точности, качества и функциональности.

Отверстия для крепления фланца двойной плотности

Кольцевой массив резьбовых отверстий двойной плотности обычно располагается вокруг фланцевого порта каждого порта с уплотнением по стандарту CF, если позволяет размер. Это позволяет точно ориентировать или поворачивать камеры на меньшие угловые шаги, а также обеспечивает резервирование (например, при повреждении болта и резьбы).

Отверстия обычно изготавливаются с резьбой по стандарту, однако метрическая резьба также доступна по запросу. Рекомендуется использовать болты с серебряным покрытием или аналогичные смазочные материалы для снижения трения при установке болтов и предотвращения заедания резьбы.

Хотя количество отверстий вдвое больше, для крепления соседнего фланца обычно используется лишь половина отверстий. Дополнительные отверстия также позволяют устанавливать соседние камеры в одинаковых ортогональных ориентациях при их прямом соединении друг с другом с помощью QiiMii фитингов близкого соединения. Более подробно фитинги близкого соединения рассматриваются далее в этом документе.

ВНИМАНИЕ: Пользователь должен тщательно определить подходящую длину болта, исходя из толщины фланца (который необходимо закрепить) и глубины резьбового отверстия в порту CF. Рекомендуется проверить предполагаемую длину болта на реальных деталях, измерив общую глубину болта с помощью штангенциркуля. Если болт окажется «слишком длинным», он «упрётся в дно» в процессе затяжки и Снимите резьбу!! В некоторых случаях точная длина болта может быть недоступна, и её придётся подрезать до подходящей длины. Рекомендуемая минимальная глубина завинчивания болта в резьбовое отверстие составляет один полный диаметр болта. Оптимальная глубина завинчивания — от 1,5 до 2,0 диаметров болта. Эта величина может варьироваться и зависит также от материалов, из которых изготовлены болт и резьбовое отверстие в вакуумной камере. Пользователь должен самостоятельно провести необходимые исследования, чтобы определить наилучшую конфигурацию для своего применения.

Внутреннее крепление

Внутренние кольцевые канавки, которые мы называем канавками Grabber Grooves, обычно присутствуют по внутренней поверхности отверстия фланца CF в портах с уплотнительной поверхностью диаметром не менее 2,75 дюйма (Рисунок 7). Канавки Grabber Grooves используются для надёжного крепления (монтажа) различных устройств и приборов к внутренней поверхности камеры с помощью зажимов / соединителей Groove Grabber Mounting Clamps.

Пазы Grabber обычно имеют одинаковые поперечные размеры для всех диаметров фланцев, что позволяет частично взаимозаменять соединители Groove Grabber при условии совместимости диаметров присоединительных отверстий.

Также доступны монтажные фланцы и переходные фланцы, которые могут крепиться к фитингам CF других производителей для создания пазов Grabber и внешних монтажных каналов в тех случаях, когда интегрированные монтажные пазы отсутствуют в конструкции камеры.

QiiMii Ультравакуумные (UHV) вакуумные камеры — это высокоточные модульные многопортовые фитинги и корпуса, оснащённые интегрированными уплотнительными поверхностями ConFlat™ (CF) на каждом порте.

QiiMii Многопортовые фитинги UHV типа Multi-CF™ разработаны как корпуса приборов и как вакуумные камеры с конкретной целью:

• Удобно размещать разнообразное внутреннее оборудование
• Обеспечивать сложные конфигурации портов
• Максимально увеличить полезный внутренний объём при компактных габаритах, чтобы минимизировать внешние габариты
• Обеспечить удобный внутренний доступ
• Повысить эффективность откачки
• Следовать модульной системе размеров
• Сгруппируйтесь в непосредственной близости

Большинство камер оснащены внутренними монтажными каналами «канавками-захватами» по внутренней поверхности их фланцев (диаметром 2,75 дюйма и более), что обеспечивает надёжное крепление внутреннего оборудования. По окружности фланцевого порта каждой вакуумной камеры с фланцем CF обычно располагается кольцевой массив резьбовых отверстий двойной плотности, что позволяет поворачивать камеры на меньшие угловые шаги, а также обеспечивает резервирование крепления.

Ознакомьтесь подробнее с различными конструкциями и геометрией многопортовых вакуумных камер CF с помощью интерактивных 3D-моделей ниже. Выберите изображение, дождитесь его загрузки и затем взаимодействуйте с моделью, перемещая курсор левой кнопки мыши внутри окна.