Багатопортові вакуумні камери QiiMii UHV Multi-CF: модульні корпуси з ущільненням типу Conflat для вакуумних середовищ високої чистоти

QiiMii Ультрависоковакуумні (UHV) багатопортові вакуумні камери — це точні, модульні фітинги та корпуси з кількома портами, що використовують інтегровані ущільнювальні поверхні типу Conflat™ (CF) на кожному порті. Ми називаємо їх MCFTM або Multi-CFTM вакуумними камерами або фітингами; вони доступні в кількох розмірах і конфігураціях. Ці компактні конструкції, як правило, сумісні з більшістю інших вакуумних фітингів, що застосовуються в галузі, і мають за мету сприяти ефективному створенню чистих та надійних вакуумних середовищ.

Виробництво на стаціонарній основі

Як зазначалося раніше, ці монолітні конструкції виготовляються з одного шматка металевої заготівки за допомогою передових технологій ЧПУ. Такий спосіб виготовлення дозволяє ефективно використовувати об’єм матеріалу та структуру в таких конфігураціях порівняно з іншими конструкціями в галузі, які зазвичай виготовляються з кількох окремих компонентів, зварених між собою. Ці технології виробництва забезпечують високий рівень точності, а вирівнювання отворів зазвичай відбувається з точністю до 0,1 градуса.

Ущільнювальні поверхні фланців ConFlat®

Ущільнювальні поверхні фланця ConFlat® (CF) оброблені безпосередньо в глобальній конструкції. Ця ущільнювальна поверхня, що має геометрію «ножового краю», використовується з прокладкою з пластичного мідного матеріалу, розташованою між фланцями, і забезпечує як герметичне з’єднання, так і структурно стабільне з’єднання між фланцями різних компонентів. Передбачувані ущільнення для ультрависокого вакууму (UHV) та навіть екстремально високого вакууму (XHV), що супроводжує застосування при дуже низьких тисках (< 10⁻¹¹ торр), можна надійно отримати в широкому діапазоні температур.

Внутрішні діаметри портів Multi-CF™ (діаметр отвору) у QiiMii компонентів трохи збільшені порівняно з традиційними конструкціями, щоб забезпечити кращий доступ до внутрішнього об’єму камери, а також підвищити провідність, що сприяє більш ефективному відкачуванню вакууму. Ці покращені характеристики портів залишаються сумісними зі стандартними ущільнювальними поверхнями CF, зберігаючи при цьому їхню структурну міцність та герметичність.

Інші характеристики наших вакуумних камер, які оптимізують застосування у надвисокому (UHV) та екстремально високому (XHV) вакуумі, включають високополіровані дзеркальні поверхні з гладкими закругленими контурами для мінімізації внутрішньої площі поверхні, а також наявність незначної кількості зварних швів або їх повне відсутність у вакуумному просторі (за наявності всі зварні шви виконуються з внутрішньої сторони). Наш унікальний зовнішній вигляд добре відомий у всій галузі й свідчить про найвищий рівень точності, якості та функціональності.

Отвори для кріплення фланця подвійної щільності

Кільцевий набір різьбових отворів подвійної щільності зазвичай розташовується навколо фланцевого порту кожного порту з ущільненням CF, якщо це дозволяє розмір. Це дає змогу точно позиціонувати або обертати камери меншими кутовими інтервалами, а також забезпечує резервування (наприклад, у разі пошкодження болта, що призводить до пошкодження різьби).

Отвори зазвичай доступні зі стандартною різьбою, але за бажанням також можна отримати метричну різьбу. Ми рекомендуємо використовувати болти з срібленого покриття або аналогічні засоби мащення для зменшення тертя під час затягування болтів і запобігання задирів різьби.

Хоча отворів удвічі більше, зазвичай використовується лише половина з них для кріплення суміжного фланця. Додаткові отвори також дозволяють монтувати суміжні камери в подібних ортогональних орієнтаціях, коли вони безпосередньо з’єднуються одна з одною за допомогою QiiMii Фітингів безпосереднього з’єднання. Детальніше про фітинги безпосереднього з’єднання йдеться далі в цьому документі.

УВАГА: Користувач повинен уважно визначити відповідну довжину болта, враховуючи товщину фланця (який потрібно прикріпити) та глибину отвору для болта у CF-порту. Рекомендується, щоб користувач перевірив передбачувану довжину болта на справжніх деталях, вимірявши загальну глибину болта за допомогою штангенциркуля. Якщо болт «завдовгий», він «упреся» в дно під час процесу затягування і зняти різьбу!! У деяких випадках точна довжина болта може бути недоступною, і її доведеться скоротити до відповідної довжини. Рекомендована мінімальна глибина завертання болта в отвір — один повний діаметр болта. Ідеальна глибина завертання становить від 1,5 до 2,0 діаметра болта. Цей параметр може варіюватися й залежить також від матеріалів, з яких виготовлені болт та отвір у вакуумній камері. Користувач повинен самостійно провести дослідження, щоб підтвердити найкращу конфігурацію для свого застосування.

Внутрішнє кріплення

Внутрішні кільцеві канавки, які ми називаємо канавками «Grabber Grooves», зазвичай присутні вздовж внутрішньої поверхні отвору фланця CF у портах із поверхнею ущільнення діаметром 2,75 дюйма або більше (Рисунок 7). Канавки «Grabber Grooves» використовуються для надійного прикріплення (монтажу) різноманітних пристроїв та апаратури до внутрішньої поверхні камери за допомогою затискачів/з’єднувачів «Groove Grabber Mounting Clamps».

Пази Grabber зазвичай мають однакові розміри поперечного перерізу для всіх діаметрів фланців, що дозволяє частково замінювати з’єднувачі Groove Grabber за умови відповідності діаметра отвору.

Також доступні монтажні фланці та адаптери фланців, які можна прикріпити до фітингів CF інших виробників, щоб забезпечити пази для захоплення та зовнішні монтажні канавки у разі відсутності інтегрованих монтажних пазів у конструкції камери.

QiiMii Вакуумні камери УВП (ультрависокого вакууму) — це точні, модульні багатопортові фітінги та корпуси, що використовують інтегровані ущільнювальні поверхні ConFlat™ (CF) на кожному порті.

QiiMii Багатопортові фітінги CF УВП проектуються як корпуси приладів, так і вакуумні камери, з метою:

• Зручно розміщувати різноманітне внутрішнє обладнання
• Дозволяти складні розташування портів
• Максимально збільшувати внутрішній функціональний об’єм, залишаючись компактними, щоб мінімізувати їх зовнішні габарити
• Забезпечувати зручний внутрішній доступ
• Покращувати ефективність відкачки
• Дотримуватися модульної системи розмірів
• Групуватися щільно один біля одного

Більшість камер мають внутрішні монтажні канавки «Grabber Grooves» уздовж внутрішнього отвору їхніх патрубків (діаметром 2,75″ або більше) для надійного кріплення внутрішніх пристроїв. У типовому випадку навколо фланцевого патрубка кожної поверхні ущільнення CF розташований кільцевий масив подвійної щільності різьбових отворів, що дозволяє обертати камери на менших кутових інтервалах, а також забезпечує резервування.

Дізнайтеся більше про різні конструкції та геометрію вакуумних камер Multi-CF за допомогою вибраних інтерактивних 3D-моделей нижче. Виберіть зображення, зачекайте, поки воно завантажиться, а потім взаємодійте з моделлю, переміщуючи курсор лівої кнопки миші всередині вікна.