QiiMii UHV-Multi-CF-Vakuumkammern: Modulare Conflat-gedichtete Mehrport-Gehäuse für Hochreinheits-Vakuumumgebungen

QiiMii UHV-(Ultra-Hochvakuum-)Multi-CF-Vakuumkammern sind präzise, modulare Multi-Anschluss-Verbindungen und Gehäuse, die an jedem Anschluss integrierte Conflat™-Dichtflächen verwenden. Wir bezeichnen sie als MCF™- oder Multi-CF™-Vakuumkammern bzw. -verbindungen; sie sind in verschiedenen Größen und Ausführungen erhältlich. Diese kompakten Konstruktionen sind im Allgemeinen mit den meisten anderen Vakuumverbindungen der Branche kompatibel und zielen darauf ab, die effiziente Erzeugung sauberer und zuverlässiger Vakuumumgebungen zu erleichtern.

Herstellung mit CNC-Fertigung

Wie bereits erwähnt, werden diese monolithischen Strukturen mittels fortschrittlicher CNC-Technologie aus einem einzigen Metallblock gefertigt. Dieses Fertigungsverfahren ermöglicht im Vergleich zu anderen in der Branche üblichen Konstruktionen – die typischerweise aus mehreren Einzelteilen bestehen, die miteinander verschweißt wurden – eine effiziente Nutzung des Materialvolumens und der Struktur. Mit diesen Fertigungstechniken ist ein sehr hoher Präzisionsgrad erreichbar; die Ausrichtung der Anschlüsse liegt üblicherweise innerhalb von 0,1 Grad.

ConFlat®-Flansch-Dichtflächen

Die Dichtflächen der ConFlat®-Flansche (CF) sind direkt in die gesamte Struktur eingearbeitet. Diese Dichtfläche mit Messerkanten-Geometrie wird zusammen mit einer zwischengelegten formbaren Kupferdichtung verwendet und gewährleistet sowohl eine Dichtung als auch eine strukturell stabile Verbindung zwischen den Flanschen verschiedener Komponenten. Vorhersagbare Dichtungen für Ultrahochvakuum (UHV) und sogar Extremhochvakuum (XHV), wie sie bei Anwendungen mit sehr niedrigen Drücken (< 10⁻¹¹ Torr) auftreten, können zuverlässig über einen breiten Temperaturbereich erzielt werden.

die Innendurchmesser (Bohrungsdurchmesser) der Multi-CF™-Anschlüsse in QiiMii Komponenten wurden gegenüber herkömmlichen Konstruktionen leicht vergrößert, um einen besseren Zugang zum inneren Volumen der Kammer zu ermöglichen und zudem die Leitfähigkeit zu erhöhen, was eine effizientere Vakuumerzeugung erlaubt. Diese verbesserten Anschlussmerkmale sind weiterhin mit Standard-CF-Dichtflächen kompatibel und bewahren dabei ihre strukturelle Integrität sowie ihre Dichtfunktion.

Weitere Merkmale unserer Vakuumkammern, die Ultra-Hochvakuum- (UHV) und Extrem-Hochvakuum- (XHV) Anwendungen optimieren, umfassen hochglanzpolierte, spiegelähnliche Oberflächen mit glatt abgerundeten Konturoberflächen zur Minimierung der inneren Oberfläche sowie möglichst wenige oder gar keine Schweißnähte im Vakuumraum (gegebenenfalls vorhandene Nähte werden von der Innenseite her verschweißt). Unser charakteristisches Erscheinungsbild ist in der gesamten Branche bekannt und belegt höchste Präzision, Qualität und Funktionalität.

Montagelöcher für Doppel-Dichte-Flansche

Eine umlaufende Anordnung von Gewindebohrungen mit doppelter Dichte ist typischerweise mit dem Flanschanschluss jeder CF-Dichtfläche verbunden, sofern die Größe dies zulässt. Dadurch können die Kammern in kleineren Winkelinkrementen justiert oder gedreht werden; zudem bietet diese Anordnung Redundanz (z. B. falls ein Bolzen beschädigt wird und das Gewinde beeinträchtigt).

Die Bohrungen sind üblicherweise mit Standard-Gewinde erhältlich, jedoch sind auf Anfrage auch metrische Gewinde verfügbar. Wir empfehlen die Verwendung versilberter Schrauben oder einer ähnlichen Schmierung, um die Reibung beim Einsetzen der Schrauben zu verringern und das Gewindeklemmen (Galling) zu verhindern.

Obwohl es doppelt so viele Bohrungen gibt, werden üblicherweise nur die Hälfte der Bohrungen zum Befestigen des benachbarten Flansches verwendet. Diese zusätzlichen Bohrungen ermöglichen zudem, dass die benachbarten Kammern in ähnlichen orthogonalen Ausrichtungen montiert werden können, wenn sie direkt miteinander über QiiMii Close-Coupling-Verbindungsstücke verbunden werden. Close-Coupler werden später in diesem Dokument ausführlicher behandelt.

ACHTUNG: Der Anwender sollte sorgfältig die geeignete Schraubenlänge anhand der Dicke des zu befestigenden Flansches und der Tiefe der CF-Anschluss-Bohrung bestimmen. Es wird empfohlen, die geplante Schraubenlänge an den tatsächlichen Bauteilen zu überprüfen, indem die gesamte Schraubentiefe mittels einer Tiefenmessung mit dem Messschieber ermittelt wird. Falls die Schraube „zu lang“ ist, stößt sie während des Anziehvorgangs am Grund der Bohrung an. Gewinde entfernen!! In einigen Fällen ist die exakte Schraubenlänge möglicherweise nicht verfügbar und muss daher auf eine geeignete Länge gekürzt werden. Die empfohlene minimale Einschraubtiefe in ein Gewindebohrloch beträgt einen vollen Schraubendurchmesser. Die ideale Einschraubtiefe liegt bei 1,5 bis 2,0-fachem Schraubendurchmesser. Diese kann je nach Anwendungsfall variieren und hängt zudem von den Materialien der Schraube und des Gewindebohrlochs in der Vakuumkammer ab. Der Anwender sollte eigenständig recherchieren, um die optimale Konfiguration für seine jeweilige Anwendung zu bestätigen.

Innenaufbau

Interne Umfangskanäle, die wir als ‚Grabber-Nuten‘ bezeichnen, sind typischerweise entlang der inneren Bohrung der CF-Aperture in Anschlüssen mit Dichtflächen vorhanden, deren Durchmesser größer oder gleich 2,75 Zoll (ca. 69,9 mm) ist (Abbildung 7). Die Grabber-Nuten dienen dazu, verschiedene Geräte und Apparaturen sicher an der Innenseite der Kammer mittels ‚Groove Grabber‘-Befestigungsklammern/-verbindern zu montieren.

Die Grabber-Rillen weisen üblicherweise bei allen Flanschdurchmessern die gleiche Querschnittsabmessung auf, wodurch eine gewisse Austauschbarkeit der Rillen-Grabber-Verbindungsstücke möglich ist, sofern der Anschlussdurchmesser dies zulässt.

Es sind ebenfalls Montageflansche und Flanschadapter erhältlich, die an CF-Anschlüsse anderer Hersteller angebracht werden können, um Grabber-Rillen und externe Montagekanäle bereitzustellen, falls keine integrierten Montagerillen in der Kammerstruktur vorhanden sind.

QiiMii UHV-(Ultra-Hochvakuum-)Vakuumkammern sind präzise, modulare Mehrport-Anschlüsse und Gehäuse mit integrierten ConFlat™-Dichtflächen (CF) an jedem Anschluss.

QiiMii Multi-CF™-UHV-Anschlüsse sind sowohl als Instrumentengehäuse als auch als Vakuumkammern konzipiert, wobei das spezifische Konstruktionsziel folgende Aspekte umfasst:

• Bequeme Unterstützung einer Vielzahl interner Geräte
• Ermöglichung komplexer Anschlussanordnungen
• Maximierung des funktionalen Innenraumvolumens bei kompakter Bauweise, um die äußere Grundfläche zu minimieren
• Bequemer interner Zugang
• Verbesserung der Pumpwirkung
• Anwendung eines modularen Bemaßungssystems
• Bündeln Sie sich in unmittelbarer Nähe

Die meisten Kammern verfügen über interne Montagekanäle („Grabber-Grooves“) entlang der inneren Bohrung ihrer Anschlüsse (ab 2,75″), um eine sichere Montage innerer Geräte zu ermöglichen. Eine ringförmige Anordnung aus doppelt dichten Gewindebohrungen ist typischerweise mit dem Flanschanschluss jeder CF-Dichtfläche verbunden, um eine Drehung der Kammern in kleineren Winkelinkrementen zu ermöglichen und gleichzeitig Redundanz zu bieten.

Erfahren Sie mehr über die verschiedenen Multi-CF-Vakuumkammer-Designs und -Geometrien anhand der ausgewählten interaktiven 3D-Modelle unten. Wählen Sie das Bild aus, warten Sie, bis es geladen ist, und interagieren Sie dann mit dem Modell, indem Sie den Mauszeiger links im Fenster bewegen.