QiiMii UHV-multikammer med vakuum: Modulære Conflat-seilte, flerportshus for vakuummiljøer med høy renhetsgrad

QiiMii UHV (ultra-høyvakuum) Multi-CF vakuumkammer er nøyaktige, modulære flerportsforbindelser og husninger som bruker integrerte Conflat™-tetningsflater ved hver port. Vi refererer til dem som MCF™ eller Multi-CF™ vakuumkammer eller forbindelser, og de er tilgjengelige i flere størrelser og konfigurasjoner. Disse kompakte designene er generelt kompatible med de fleste andre vakuumforbindelser i bransjen, med målet om å lette effektiv opprettelse av rene og pålitelige vakuummiljøer.

Cnc-fabrikasjon

Som tidligere nevnt er disse monolittiske strukturene fremstilt fra et enkelt metallstykke ved hjelp av avansert CNC-teknologi. Denne fremstillingsmetoden tillater en effektiv bruk av materialevolum og struktur i disse konfigurasjonene sammenlignet med andre strukturer i bransjen, som vanligvis er fremstilt fra flere komponentdeler som er sveist sammen. En høy nivå av presisjon er mulig med disse produksjonsteknikkene, der portjustering vanligvis er innenfor ±0,1 grad.

ConFlat®-flensforseglingsoverflater

Tettningsflatene for ConFlat®-flensen (CF) er maskinert direkte inn i den globale konstruksjonen. Denne tettningsflaten, som bruker en knivkantgeometri, brukes sammen med en mellomliggende formbar kobberpakning og gir både en tetning og en strukturell samt stabil forbindelse mellom flensene på ulike komponenter. Forutsigbare tetninger for ultra-høy vakuum (UHV) og til og med ekstremt høy vakuum (XHV), som oppstår ved svært lave trykk (< 10⁻¹¹ torr), kan pålitelig oppnås over et bredt temperaturområde.

Multi-CF™-innportenes indre diameter (bore-diameter) i QiiMii komponenter er litt forstørret i forhold til konvensjonelle design for å gi bedre tilgang til kammerets indre volum og også øke ledningsevnen, noe som gjør vakuumoppumpingen mer effektiv. Disse forbedrede portegenskapene er fortsatt kompatible med standard CF-tetningsflater uten at deres strukturelle og tetningsmessige integritet påvirkes.

Andre funksjoner ved våre vakuumkammer som optimaliserer UHV- og XHV-applikasjoner inkluderer sterkt polerte speilaktige overflater, med glatte, avrundede konturoverflater for å minimere den indre overflatearealet og med få eller ingen sveiser innenfor vakuumrommet (eventuelle sveiser er sveist fra den indre overflaten). Vårt karakteristiske utseende er velkjent i hele bransjen og står som et vitnesbyrd om høyeste nivå av presisjon, kvalitet og funksjonalitet.

Monteringshull for dobbelt tetthet på flens

En omsirkulær rekke av gjengede hull med dobbelt tetthet er vanligvis knyttet til flensporten for hver CF-tettningsflateport når størrelsen tillater det. Dette gjør at kammerne kan justeres eller roteres i mindre vinkelinkrementer og gir også redundans (f.eks. hvis det oppstår et problem med en skrue som skader gjengen).

Hullene er vanligvis tilgjengelige med standard-gang, men metriske ganger er også tilgjengelige på forespørsel. Vi anbefaler å bruke sølvplaterede skruer eller lignende smøremiddel for å redusere friksjon under montering av skruene og forhindre gangskading.

Selv om det er dobbelt så mange hull, brukes vanligvis bare halvparten av hullene til å sikre den tilstøtende flensen. Disse ekstra hullene gjør også at de tilstøtende kammerne kan monteres i lignende ortogonale retninger når de kobles direkte til hverandre ved hjelp av QiiMii nært koblingsfittings. Vi diskuterer nært koblingsfittings mer detaljert senere i dette dokumentet.

ADVARSEL: Brukeren må nøye fastsette passende skruelengde basert på tykkelsen til flensen (som skal festes) og dybden på CF-portens skruehull. Det anbefales at brukeren bekrefter den forventede skruelengden på de faktiske delene ved å bestemme den totale skruedybden ved hjelp av en kaliperdybdemåling. Hvis skruen er «for lang», vil den «treffe bunn» under stramningsprosessen og Fjern trådene! I noen tilfeller er den nøyaktige boltelengden ikke tilgjengelig og må kuttes til en passende lengde. Den anbefalte minimale boltedypen i et bolteløs er én hel boltediameter. Den ideelle dybden er 1,5 til 2,0 ganger boltediameteren. Dette kan variere og avhenger også av materialene som bolten og vakuumkammerets bolteløs er laget av. Brukeren bør selv gjøre undersøkelser for å bekrefte den beste konfigurasjonen for sitt bruksområde.

Indre montering

Indre omgivelseskanaler, som vi kaller «Grabber-riller», finnes vanligvis langs den indre boren på CF-åpningen i porter med tettingsflater som er større enn eller lik 2,75 tommer i diameter (Figur 7). Grabber-rillene brukes til å festa (montere) ulike enheter og apparater på innsiden av kammeret ved hjelp av Groove Grabber-monteringsklemmer/koblingsdelar.

Grabber-groovene har vanligvis samme tverrsnittsdimensjon i alle flensdiametre, noe som tillater en viss utveksling av Groove Grabber-koblinger så lenge portdiameteren tillater det.

Monteringsflenser og flensadaptere er også tilgjengelige og kan monteres på CF-tilkoblinger fra andre produsenter for å gi grabber-groover og eksterne monteringskanaler når det ikke finnes integrerte monteringsgroover i kammerstrukturen.

QiiMii UHV (Ultra-High Vacuum)-vakuumkammer er nøyaktige, modulære, flerport-tilkoblinger og -hus som bruker integrerte ConFlat™-tettetflater (CF) ved hver port.

QiiMii Multi-CF™ UHV-tilkoblinger er designet både som instrumenthus og som vakuumkammer, med følgende spesifikke designmål:

• Håndtere bekvemt en rekke interne apparater
• Tillate komplekse portanordninger
• Maksimere det indre funksjonelle volumet samtidig som de forblir kompakte for å minimere deres eksterne fotavtrykk
• Gi bekvem intern tilgang
• Forbedre pumpeeffektiviteten
• Følge et modulært dimensjoneringssystem
• Samles tett sammen i nærheten av hverandre

De fleste kamrene inkluderer interne monteringskanaler «Grabber Grooves» langs den indre boringen på deres porter (2,75 tommer eller større) for å muliggjøre sikker montering av intern utstyr. En omsirkulær rekke med dobbelttettede gjenger er vanligvis knyttet til flensporten på hver CF-tetningsflate for å muliggjøre rotasjon av kamrene i mindre vinkelinkrementer samt å gi redundans.

Lær mer om de ulike designene og geometriene til Multi-CF-vakuumkamrene ved hjelp av de interaktive 3D-modellene nedenfor. Velg bildet, vent til det er lastet inn, og interager deretter med modellen ved å bevege musepekeren med venstre musknapp i vinduet.