Buồng chân không đa cổng QiiMii UHV Multi-CF: Vỏ bọc đa cổng mô-đun kín kiểu Conflat dành cho môi trường chân không độ tinh khiết cao

QiiMii Các buồng chân không đa cổng UHV (chân không cực cao) là các khớp nối và vỏ bọc mô-đun chính xác, có nhiều cổng, sử dụng bề mặt làm kín kiểu Conflat™ (CF) tích hợp tại mỗi cổng. Chúng tôi gọi chúng là buồng chân không hoặc khớp nối MCFTM hoặc Multi-CFTM, và chúng có sẵn ở nhiều kích cỡ và cấu hình khác nhau. Các thiết kế nhỏ gọn này thường tương thích với hầu hết các khớp nối chân không khác trong ngành, nhằm mục tiêu cuối cùng là hỗ trợ hiệu quả việc tạo ra các môi trường chân không sạch và đáng tin cậy.

Chế tạo CNC

Như đã nêu trước đó, các cấu trúc khối nguyên khối này được chế tạo từ một khối kim loại duy nhất bằng công nghệ CNC tiên tiến. Phương pháp chế tạo này cho phép sử dụng hiệu quả thể tích vật liệu và cấu trúc trong các thiết kế này so với các cấu trúc khác trong ngành, vốn thường được chế tạo từ nhiều chi tiết riêng lẻ sau đó được hàn lại với nhau. Các kỹ thuật sản xuất này đạt được độ chính xác cao, với độ lệch trục cổng thường nằm trong phạm vi ±0,1 độ.

Bề mặt làm kín mặt bích ConFlat®

Các bề mặt làm kín của mặt bích ConFlat® (CF) được gia công trực tiếp vào cấu trúc tổng thể. Bề mặt làm kín này sử dụng hình dạng lưỡi dao và được sử dụng cùng với gioăng đồng dẻo đặt ở giữa, nhằm tạo ra cả chức năng làm kín lẫn kết nối cơ học vững chắc và ổn định giữa các mặt bích của các thành phần khác nhau. Các mối làm kín đáng tin cậy cho chân không cực cao (UHV) và thậm chí cả chân không cực kỳ cao (XHV) — vốn đi kèm với các ứng dụng áp suất rất thấp (< 10⁻¹¹ torr) — có thể được đảm bảo một cách nhất quán trong một phạm vi nhiệt độ rộng.

đường kính cổng bên trong Multi-CFTM (đường kính lỗ khoét) trong QiiMii các thành phần đã được mở rộng nhẹ so với thiết kế thông thường nhằm tạo điều kiện tiếp cận tốt hơn vào thể tích bên trong buồng cũng như tăng độ dẫn khí, giúp quá trình bơm chân không hiệu quả hơn. Các tính năng cải tiến của cổng này vẫn tương thích với các bề mặt làm kín CF tiêu chuẩn, đồng thời duy trì đầy đủ tính toàn vẹn về cấu trúc và khả năng làm kín.

Các tính năng khác của buồng chân không của chúng tôi nhằm tối ưu hóa các ứng dụng chân không cực cao (UHV) và chân không siêu cao (XHV) bao gồm các bề mặt được đánh bóng sáng bóng như gương, với các đường viền cong mượt mà nhằm giảm thiểu diện tích bề mặt bên trong và có rất ít hoặc không có mối hàn nào nằm trong vùng chân không (bất kỳ mối hàn nào hiện hữu đều được hàn từ mặt trong). Thiết kế đặc trưng của chúng tôi đã trở nên nổi tiếng trong toàn ngành và là minh chứng cho những tiêu chuẩn cao nhất về độ chính xác, chất lượng và chức năng.

Lỗ bắt bulông mặt bích mật độ kép

Một dãy vòng tròn các lỗ ren mật độ kép thường được bố trí trên cổng mặt bích của mỗi cổng làm kín kiểu CF khi kích thước cho phép. Điều này cho phép các buồng được định vị theo góc xoay nhỏ hơn và đồng thời cung cấp khả năng dự phòng (ví dụ: nếu xảy ra sự cố với một bulông gây hư hại ren).

Các lỗ ren thường có sẵn với ren tiêu chuẩn, nhưng ren hệ mét cũng có thể được cung cấp theo yêu cầu. Chúng tôi khuyến nghị sử dụng bu-lông mạ bạc hoặc chất bôi trơn tương tự nhằm giảm ma sát trong quá trình lắp bu-lông và ngăn ngừa hiện tượng kẹt ren.

Mặc dù số lượng lỗ ren gấp đôi, nhưng thông thường chỉ một nửa số lỗ này được sử dụng để cố định mặt bích liền kề. Các lỗ bổ sung này còn cho phép các buồng liền kề được lắp đặt ở các hướng vuông góc tương tự khi kết nối trực tiếp với nhau bằng QiiMii các khớp nối ghép sát (Close Coupling Fittings). Chúng tôi sẽ trình bày chi tiết hơn về các khớp nối ghép sát (Close Couplers) ở phần sau của tài liệu này.

CẢNH BÁO: Người sử dụng cần xác định cẩn thận chiều dài bu-lông phù hợp dựa trên độ dày của mặt bích (sẽ được lắp) và độ sâu của lỗ ren cổng CF. Chúng tôi khuyến nghị người sử dụng kiểm tra chiều dài bu-lông dự kiến trên các chi tiết thực tế bằng cách đo tổng độ sâu bu-lông bằng thước cặp đo độ sâu. Nếu bu-lông "quá dài", nó sẽ "chạm đáy" trong quá trình siết chặt và Làm sạch ren!! Trong một số trường hợp, chiều dài bu-lông chính xác có thể không sẵn có và cần được cắt sao cho phù hợp. Độ sâu tối thiểu khuyến nghị của phần ren bu-lông ăn khớp trong lỗ bu-lông là bằng một đường kính đầy đủ của bu-lông. Độ sâu ăn khớp lý tưởng nằm trong khoảng từ 1,5 đến 2,0 lần đường kính bu-lông. Giá trị này có thể thay đổi và cũng phụ thuộc vào vật liệu cấu thành bu-lông cũng như vật liệu của lỗ bu-lông trên buồng chân không. Người sử dụng cần tự nghiên cứu để xác nhận cấu hình tối ưu nhất cho ứng dụng cụ thể của mình.

Lắp đặt bên trong

Các rãnh vòng tròn bên trong, mà chúng tôi gọi là Rãnh giữ (Grabber Grooves), thường hiện diện dọc theo bề mặt lỗ trong của cổng CF có đường kính bề mặt làm kín lớn hơn hoặc bằng 2,75 inch (Hình 7). Các Rãnh giữ được sử dụng để gắn (lắp đặt) chắc chắn các thiết bị và dụng cụ khác nhau vào bên trong buồng bằng các kẹp / bộ nối lắp đặt kiểu Rãnh giữ (Groove Grabber Mounting Clamps / connectors).

Các rãnh kẹp Grabber thường có cùng kích thước mặt cắt ngang ở mọi đường kính mặt bích, cho phép một số bộ nối Groove Grabber có thể hoán đổi cho nhau tùy theo đường kính cổng cho phép.

Các mặt bích lắp đặt và bộ chuyển đổi mặt bích cũng có sẵn, có thể gắn vào các khớp nối CF của nhà sản xuất khác nhằm cung cấp các rãnh kẹp và các kênh lắp đặt bên ngoài khi cấu trúc buồng chân không không tích hợp sẵn các rãnh lắp đặt.

QiiMii Các buồng chân không UHV (Chân không cực cao) là những buồng chính xác, có tính mô-đun cao, gồm nhiều cổng kết nối và vỏ bọc, sử dụng các bề mặt làm kín tích hợp ConFlat™ (CF) tại mỗi cổng.

QiiMii Các khớp nối Multi-CF™ UHV được thiết kế vừa làm vỏ bọc cho thiết bị vừa làm buồng chân không, với mục đích thiết kế cụ thể nhằm:

• Hỗ trợ thuận tiện đa dạng thiết bị nội bộ
• Cho phép bố trí cổng phức tạp
• Tối đa hóa thể tích chức năng bên trong trong khi vẫn giữ kích thước nhỏ gọn nhằm giảm thiểu diện tích chiếm chỗ bên ngoài
• Cung cấp khả năng tiếp cận thuận tiện vào bên trong buồng
• Nâng cao hiệu suất bơm chân không
• Tuân theo hệ thống định kích thước mô-đun
• Tập trung gần nhau

Hầu hết các buồng đều có các rãnh lắp đặt bên trong (‘Rãnh kẹp’) dọc theo đường kính trong của cổng nối (từ 2,75 inch trở lên) để cho phép lắp đặt chắc chắn các thiết bị bên trong. Một dãy lỗ ren mật độ kép bố trí theo chu vi thường được tích hợp trên mặt bích cổng nối của mỗi bề mặt làm kín CF nhằm cho phép xoay buồng ở các góc nhỏ hơn đồng thời cung cấp tính dự phòng.

Vui lòng tìm hiểu thêm về các thiết kế và hình học khác nhau của buồng chân không đa-CF thông qua các mô hình 3D tương tác được chọn bên dưới. Chọn hình ảnh, đợi mô hình tải xong, sau đó tương tác với mô hình bằng cách di chuyển con trỏ chuột trái trong cửa sổ.