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VBK21 真空用バタフライバルブ SS304 SS316L ステンレス鋼 FKM シール KF25/KF40/KF50 フランジ付 手動アクチュエーター 電動式 NW25/40
モデル:VBK21
- 概要
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蝶形弁は、換気用、遮断用、または高真空バルブとして使用され、半導体装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持っています。蝶形弁はコンパクトな設計と高い導電性が特徴です。ステンレス鋼304または316Lで製造されており、手動操作式または電動空圧式のタイプも利用可能です。
設計および特徴
*FKMシール付き回転式バルブプレート
*コンパクトで軽量、取り付けが簡単
*フランジ間寸法が最小限、設置スペースが少なくて済む
*開度を調整することで流量を制御でき、任意の開度に設定可能
技術仕様
| 弁本体材質： | SS304/SS316L | |
| シートシール材質： | オプションでFKM、NBR | |
| 真空範囲： | 105-6.7x10■ Pa | |
| 漏洩率： | 1.3x103 Pa・L/s | |
| 整備までのサイクル数： | サイクル数： | 800,000 回 |
| バルブ: | 千回 | |
| 開角度： | 0-90度 | |
| 温度範囲: | FKM シートシール： | -30℃～150℃（概算） |
| NBR シートシール： | -25℃ ～ 80℃（概算） | |
| 作動方式： | 手動、空圧アクチュエータ、電動アクチュエータ | |
| 圧縮空気: | 0.4-0.8MPa | |
| 開閉速度： | アルミニウムアクチュエーター： | ≤3秒 |
| 電動アクチュエーター オン・オフ式： | 標準 30秒、10秒・15秒 オプション | |
| ソレノイド電圧： | AC220V、50Hz、6Wまたはご要望に応じて | |
| 標準電動アクチュエーター： | ON-OFFタイプ | |
| ポジションインジケーター付きで提供可能 | オプション信号フィードバック | |
