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버터플라이 밸브는 반도체 장비의 진공 배기 라인에 설치 가능한 간단한 구조를 가진 환기, 차단 또는 고진공 밸브로 사용됩니다. 버터플라이 밸브는 컴팩트한 설계와 높은 유도율이 특징입니다. 스테인리스강 304 또는 316L로 제작되며 수동 작동 또는 전기식 공압 작동 방식으로도 제공됩니다.
디자인 및 특징
*FKM 씰을 적용한 회전형 밸브 플레이트
*소형 경량 설계로 설치 용이
*최소한의 면간 치수로 설치 공간 절약
*개방 각도 조절을 통해 유량 조절 가능하며 임의의 개방 각도로 설정 가능
기술 파라미터
| 밸브 본체 재질: | SS304/SS316L | |
| 시트 실 재질: | FKM,NBR 선택 가능 | |
| 진공 범위: | 105-6.7x10■ Pa | |
| 누설률: | 1.3x103 Pa.L/s | |
| 정비 시까지 작동 횟수: | 사이클 수: | 800,000회 |
| 밸브: | 10만 번 | |
| 개방 각도: | 0-90도 | |
| 온도 범위: | FKM 시트 실린더: | -30℃에서 150℃(약) |
| NBR 시트 실린더: | -25℃ ~ 80℃(약) | |
| 작동: | 수동식, 공압 액추에이터, 전동 액추에이터 | |
| 압축 공기: | 0.4-0.8MPa | |
| 열림/닫힘 속도: | 알루미늄 액추에이터: | ≤3초 |
| 전동 액추에이터 온오프 타입: | 표준 30초, 10초, 15초 옵션 | |
| 솔레노이드 전압: | AC220V,50Hz,6W 또는 요청 시 | |
| 표준 전동 액추에이터: | ON-OFF 타입 | |
| 위치 지시기 사용 가능 | 옵션 신호 피드백 | |
