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- 概要
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VXMシリーズミニUHVゲートバルブは、手動、空気圧、電動駆動方式に分類でき、接続部はKF25からKF50およびCF25からCF50のサイズに対応したKFフランジおよびCFフランジを備えています。
スムーズな動作、小型設計、信頼性の高い使用、優れたシール性能、長寿命が特徴です。VXMミニシリーズ超高真空（UHV）ゲートバルブは、非常に高いコンダクタンス値または光学的に遮りのない通路が必要とされる場合に使用されます。バルブの媒体は空気および非腐食性ガスです。
技術仕様
| 弁本体材質： | SS304/SS316L | |
| シートシール材質： | オプションでFKM、NBR | |
| 適用範囲: | ベルローズ付き： | 1×10-6 Pa〜1.2×105 Pa |
| ベルローズなし： | 1×106 Pa〜1.2×105 Pa | |
| 漏洩率： | ベルローズ付き： | 1.3x107 Pa L/s |
| ベルローズなし： | 1.3x106 Pa L/s | |
| 整備までのサイクル数： | サイクル数： | 800,000 回 |
| ベルローズ付き： | 1500,000-2000,000回 | |
| ベルローズなし： | 1500,000-2000,000回 | |
| ベークアウト温度: | オープン時:200℃、クローズ時:150℃ | |
| 取付位置： | 全方向 | |
| 圧縮空気: | 0.4-0.8MPa | |
| 開閉速度： | ≤1秒 | |
| 温度範囲: | FKM シートシール： | -30℃ ～ 150℃（概算） |
| NBR シートシール： | -25℃ ～ 80℃（概算） | |
| ソレノイド電圧： | AC220V、50Hz、6Wまたはご要望に応じて | |
| ポジションインジケーター付きで提供可能 | 信号フィードバック付きのオプション | |
