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- 概要
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角型バルブは、手動または空圧でスレッドを回転させ、バルブシャフトを上下に駆動し、バルブ座を開閉させて真空システム内の空気の流れを接続または遮断する装置です。バルブ本体は90°直角（L字型）および45°直角（Y字型）で設計されています。接続フランジはKF、ISO、CFタイプおよびチューブ端に対応しています。
それらは高真空使用および1×10⁻⁴ Paから1.2×10 Paまでの圧力範囲、漏れ率1.3×10⁻⁴ Pa・L/sに対応しています。自動化が不要な場合、手動式の角型バルブは優れたソリューションです。粗真空および高真空前置配管での使用に頻繁に用いられ、チャンバーの排気バルブとしても非常に適しています。QiMingの角型バルブは、半導体製造、プラズマ物理学研究から核加速器に至るまで、幅広い用途で使用されています。QiMingは、高真空プロセス、ポンプシステムにおける高真空アプリケーション、半導体技術および研究システムなどの真空用途に適した全シリーズの角型バルブを提供しています。
技術仕様
| 弁本体材質： | SS304/SS316L | |
| シートシール材質： | オプションでFKM、NBR | |
| 適用範囲: | ベルローズ付き： | 1×10-6 Pa〜1.2×105 Pa |
| ベルローズなし： | 1×106 Pa〜1.2×105 Pa | |
| 漏洩率： | ベルローズ付き： | 1.3x107 Pa L/s |
| ベルローズなし： | 1.3x106 Pa L/s | |
| 整備までのサイクル数： | サイクル数： | 800,000 回 |
| ベルローズ付き： | 1500,000-2000,000回 | |
| ベルローズなし： | 1500,000-2000,000回 | |
| ベークアウト温度: | オープン時:200℃、クローズ時:150℃ | |
| 取付位置： | 全方向 | |
| 圧縮空気: | 0.4-0.8MPa | |
| 開閉速度： | ≤1秒 | |
| 温度範囲: | FKM シートシール： | -30℃ ～ 150℃（概算） |
| NBR シートシール： | -25℃ ～ 80℃（概算） | |
| ソレノイド電圧： | AC220V、50Hz、6Wまたはご要望に応じて | |
| ポジションインジケーター付きで提供可能 | 信号フィードバック付きのオプション | |
電磁直動弁
| モデル 304 | サイズ | A/mm | C/mm | D/mm | E/mm | F/mm | G/mm | N.W./kg |
| VZL01DC83N1K16 | KF16 | 167.5 | 35 | 48 | 62.5 | 44 | 39 | |
| VZL01DC83N1K25 | KF25 | 187 | 45 | 56 | 73.6 | 50 | 44 | |
| VZL01DC83N1K40 | KF40 | 221 | 55 | 78 | 94.5 | 73 | 63 | |
| VZL01DC83N1K50 | KF50 | 245 | 65 | 84 | 107.5 | 78 | 69 |
